Liquid Nano Particle Sizer System

LNS System, Model 3905   



LNS는 Liquid 를 초정밀 Nebulizer 로 Atomize 한 후 Scanning Mobility Particle Sizer 로 Liquid 내의 Nano Size Particle 을 분석하는 장치입니다.

Colloid Particle, CMP Slurry Particle 을 5 nm 부터 분석할 수 있으며 또한 Protein 분석, Filter 성능 평가등 다양한 Application에서 Nano Particle 을 Size 별로 측정하여 분포도를 분석 할 수 있습니다.

현재 CMP Slurry Particle 의 Size와 농도를 측정하기 위해서 Light scattering 방식등을 사용하고 있지만 그 특성상 두가지 이상 Size가 혼합된 경우 각각의 Size를 분석해내기가 어려운 한계가 있습니다.

Kanomax-FMT의 LNS 는 CMP Slurry Particle Sizer가 여러가지로 혼합된 상태라도 Aerosol로 각각의 Size 및 농도를 정확히 분석할 수 있는 세계 유일의 분석장치입니다.

측정 범위 5 nm ~ 150 nm
INSPECTION SAMPLE FLOW RATE < 1 uL / min
total flow rate 280 ml / min
Dilution factor range 50 – 20,000
colloid concentration 3E7 – 3E11 number/mL
RESPONSE TIME < 90 seconds
Inlet Water Pressure 29 – 72 psig
WETTED SURFACE MATERIAL Sapphire, PFA Teflon, PTFE, 316 SS
Compressed Air Flow Rate/Pressure  2.5 std L/min CDA or Nitrogen 2.8 bar (50-60 psi)
TSI Model numbers  3082 Classifier, 3085A Nano DMA, 3775 CPC, 3088 Soft X-ray Neutralizer, Aerosol Instrument Manager® Software
 WATER INLET 1/4″ PFA Flaretek
WATER OUTLET 1/2″ PFA Flaretek
 CDA INLET 1/4″ SS LOK
전원 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz

 

Clean Room Environment Solution