10 nm STPC

10 nm Particle Counter    

현존하는 UPW Particle Counter는 20 nm 가 한계입니다, 이 또한 Detection Efficiency가 2% 내외에 불과하여 측정 효율이 매우 낮아 신뢰성 확보에 한계가 있습니다. 2%에 불과한 측정효율과 20 nm Standard PSL의 높은 오차율을 감안하면 그 데이터로 결과값을 신뢰할 수 없음을 분명히 알 수 있습니다.

Kanomax FMT의 10 nm Particle Counter는 CPC 원리를 이용하여 초정밀 Nebulizer를 통과한 UPW의 Particle을 50% efficiency로 측정합니다.  10 nm, 20 nm, 30 nm 3가지 측정 사이즈를 선택할 수 있고 사이즈 변경도 가능합니다. 반도체 공정이 20 nm 에서 10 nm 공정으로 초미세화 하는 시점에서 UPW 의 초미세 Particle 불량을 분석하고 모니터링 할 수 있습니다.

10 nm STPC 는  Compact하면서 조작하기 쉬우며,  부탄올 1 Liter정도면 약 한달 동안 동작합니다.  데이터는 Serial 통신으로 모니터링 소프트웨어와 연결 할 수 있어 24시간 On Line 모니터링이 가능합니다.

측정 범위 10 nm ~ 30 nm (5 nm 단위로 선택 가능)
INSPECTION SAMPLE FLOW RATE < 10 uL / mon
Number of size channel 1 ~ 3
INLET WATER PRESSURE 29 ~ 72 psig
CDA or N2 25 LPM
RESPONSE TIME < 30 seconds
max upw residue 200 ppt at 10 nm, 1 ppn at 20 nm
WETTED SURFACE MATERIAL Sapphire, PFA Teflon, PTFE, 316 SS
Working fluid n-Butyl Alcohle
MAX WATER TEMPERATURE 80 DegreeC
 WATER INLET 1/4″ PFA Flaretek
WATER OUTLET 1/2″ PFA Flaretek
 CDA INLET 1/4″ SS LOK
전원 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz
크기 42 cm x 43 cm x 27 cm
무게 13.6 Kg
통신 USB, Ethernet

 

Clean Room Environment Solution