NRM 8000

Non Volatile Residue Monitor    

UPW 에는 Residue가 언제나 존재합니다, 대표적인 Residue로 Silica가 있지만 현존하는 Silica 분석기는 Disolved Silica 만 분석이 되고 Colloid Silica 는 분석이 불가능합니다.

NRM 8000은 CPC 원리를 이용하여 UPW 에 존재하는 Residue, Dissolved Silica, Colloid Silica, Metal, 유기성분 등, 즉 NVR을 PPT 단위까지 분석하며 UPW Filter Life time, 이온교환수지 교체 시기 등 기존 분석기로 알아낼 수 없는 부분을 모니터링 함으로써 최첨단 생산 공정에 야기되는 예상하지 못하는 생산 불량을 미연에 방지할 수 있습니다.

Kanomax FMT의 NRM 8000은 매우 가볍고 Compact하면서 조작하기 쉬우며, 시약같은 소모성이 전혀 없습니다.  데이터는 Serial 통신으로 모니터링 소프트웨어와 연결 할 수 있어 24시간 On Line 모니터링이 가능합니다.

측정 범위 0.001 ~ 60 ppb
Sample fLOW RATE < 3.0 ml / min
total flow rate 120 ml /min
inlet water pressure 20 ~ 70 psig
cda 50 psig
Residue drying temperature 120 DegreeC
샘플 유량 1 CFM (28.3 L/min) ±5% accuracy (meets ISO 21501-4 and JIS B9921)
Wetted surface material Sapphire, PFA Teflon, PTFE, 316 SS
MAX WATER TEMPERATURE 80 DegreeC
 wATER INLET 1/4″ PFA Flaretek
water outlet 1/4″ PFA Flaretek
 CDA INLET 1/4″ SS LOK
전원 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz
크기 41 cm x 36 cm x 22 cm
무게 8 Kg
통신 USB, RS232C, 4-20 mA

 

Clean Room Environment Solution