AeroTrak 6310

0.3 um Pump 내장형 Air Particle Sensor                                                                            

반도체나 제약, 바이오 등의 첨단 생산공정을 갖추고 있는 산업분야는 미세 먼지에도 쉽게 오염되어 품질 이상이 발생합니다. 이에 따라, 이런 제품 생산을 위해서는 미세 먼지가 절대 침투하지 못하게 클린룸(Clean Room)이라는 청정 공간을 필요로 합니다.

클린룸을 위한 필수장비로서 Particle Counter는 먼지 한개도 허용하지 않는 청정공간을 만들기 위해 클린룸 내부 환경은 물론, 생산 장비 내부, ULPA, HEPA 필터, Gas, UPW 등 모든 오염제어를 위한 첫번째 감시 단계로서 반드시 사용되어야 합니다.

TSI의 Pump 내장형 Particle Sensor는 Vacuum Pump가 Sensor에 내장되어 있어 따로 Vacuum 연결이 필요없어 설치가 간편합니다. 또한On Line Monitoring을 위한 제품으로 Serial, RS485 또는 Ethernet 통신을 사용하여 24시간 실시간 Particle Monitoring을 할 수 있습니다.  3000개의 메모리 내장으로 통신장애 발생시 자체 데이터 저장되어 손실을 방지합니다.

측정 입자범위 0.3 ~ 25.0 um
 측정 SIZE 0.3, 0.5, 0.7, 1.0 um
 농도 한계 821,000 particles/ft3 (29,000,000/m3) @ 10% coincidence loss
 계수 효율 50% at 0.300 µm; 100% for particles >0.45 µm (per ISO 21501-4 and JIS)
 광원 Long Life Laser Diode
 영점 변동 <1 count per 5 minutes (per ISO 21501-4 and JIS)
샘플 유량 1.0 CFM (28.3 L/min) ±5% accuracy (meets ISO 21501-4 and JIS B9921)
교정 NIST traceable using TSI calibration system
교정 주기 1년
 측정 MODE 수동, 자동 Mode
측정 시간 1초 ~ 99시간 중 선택
 측정 횟수 1 ~ 9999회 중 선택 또는 무한 연속 측정
샘플 흡입 Internal Pump
 통신 TCP/IP, Serial, RS485, 4-20 mA
Analog input 4-20 mA 입력(4개), 온습도 등 환경센서 연결용으로 사용
aLARM OUTPUT Dry Contract
STATUS INDICATE Power, Service, Counting,
전원 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz
메모리 3,000
크기 26.7 cm x 25.4 cm x 15.5 cm
무게 6.5 kg

 

Clean Room Environment Solution