AeroTrak 9110

0.1um Air Particle Counter
                                                                            

반도체나 제약, 바이오 등의 첨단 생산공정을 갖추고 있는 산업분야는 미세 먼지에도 쉽게 오염되어 품질 이상이 발생합니다. 이에 따라, 이런 제품 생산을 위해서는 미세 먼지가 절대 침투하지 못하게 클린룸(Clean Room)이라는 청정 공간을 필요로 합니다.

클린룸을 위한 필수장비로서 Particle Counter는 먼지 한개도 허용하지 않는 청정공간을 만들기 위해 클린룸 내부 환경은 물론, 생산 장비 내부, ULPA, HEPA 필터, Gas, UPW 등 모든 오염제어를 위한 첫번째 감시 단계로서 반드시 사용되어야 합니다.

TSI의 Particle Counter는 5.7″의 Color Touch Panel Display를 사용하여 Compact하면서 조작하기 쉽고, 배터리로 장시간 사용할 수 있습니다.  내부 메모리는 10000개의 데이터를 저장하고 USB 포트로 메모리 스틱이나 컴퓨터에 직접 연결하여 데이터를 출력할 수 있습니다.

측정 입자범위 0.1 ~ 5.0 um
 측정 Size 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 um (0.7 um 가능)
 농도 한계 100,000 particles/ft3 (3,500,000/m3) @ 10% coincidence loss
 계수 효율 50% at 0.100 µm; 100% for particles >0.15 µm (per ISO 21501-4 and JIS)
 광원 Enhanced active cavity HeNe laser
 영점 변동 <1 count per 5 minutes (per ISO 21501-4 and JIS)
샘플 유량 1 CFM (28.3 L/min) ±5% accuracy (meets ISO 21501-4 and JIS B9921)
교정 NIST traceable using TSI calibration system
교정 주기 1년
 측정 Mode 수동, 자동 Mode, Beep; Cumulative/Differential, Count or Concentration
측정 시간 1초 ~ 99시간 중 선택
 측정 횟수 1 ~ 9999회 중 선택 또는 무한 연속 측정
샘플 흡입 유량 컨트롤 내장 Pump 사용
 통신 USB, TCP/IP
Display 5.7″ Color Touch Panel Display
프린터 감열지 사용 내장 프린터
전원 110 ~ 220 VAC, 50/60Hz
 배터리 최대 4개 장착, 6시간 사용
크기 23.6 cm x 20.6 cm x 52.2 cm
무게 11.14 kg without battery, 12.70 kg with battery
Option 온습도/풍속 프로브, Filter Scanning Probe, 추가 Battery, Carrying Case

 

Clean Room Environment Solution